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根据微弹簧在微机电系统(MEMS)中使用模式的不同,将微弹簧分为三种应用模式进行分析.应用LIGA加工工艺,设计加工了一种"L型"MEMS微......
针对现有微机电系统（MEMS ）微弹簧研究中侧重于弹性系数的分析，微弹簧优化设计研究则不足的情况，提出了微机电系统微弹簧优化设计方法......
微弹簧是一种重要的微电子机械系统(MEMS)器件,它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力.我们采用UV-LIGA技术制备出S型镍平面微......
微弹簧是一种重要的MEMS器件 ,可为微传感器和微执行器提供弹性力。我们设计并用UV LIGA技术制备了数种不同形状的平面微弹簧 ,并......
